X射線熒光光譜儀是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
X射線熒光光譜儀的應用：
固體樣品中元素的定性、定量、半定量分析。固體樣品類型包括塊狀固體、小顆粒小配件、薄膜、粉末、濾膜等。常見的XRF譜儀分為波長色散型和能量色散型，兩者具有不同的分析范圍和分析特點。
X射線熒光光譜儀的功能：
基于X射線的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發態，由于激發態不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產生X熒光。
X熒光具有特征的波長，對應的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現元素的定量和半定量分析。
