X射線熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
X射線熒光光譜儀主要特點是靈敏度高、選擇性好，靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數量級。分光光度法通常在10-7級，而熒光的靈敏度達10-9。
值得一提的是，X射線熒光光譜儀分析技術是一種非侵入式、能夠對不同材料中的化學組成實現快速分析的無損檢測技術。這些特性使得該分析技術在許多方面都更加實用且更具優勢。其主要應用范圍包括：金屬合金材料的可靠性鑒別（PMI）、危險品檢測、材料驗證以及司法科學等方面。
近年來，熒光光譜儀分析技術的進步主要體現在儀器成本的降低和體積尺寸的減小，這些進步均有效的擴大了XRF的使用范圍。商業化熒光光譜儀（HHXRF）大約誕生于20年前，這是該技術發展歷的一個重要轉折點，因為HHXRF的出現實現了從固定的臺式光譜儀到移動化便捷設備的轉變。
x射線熒光光譜儀可廣泛應用于下面這些領域中：
一：鋼鐵
生鐵、鑄鐵、不銹鋼、低合金鋼、爐渣、礦石、鐵合金、特種鋼、表面處理鋼板、電鍍液
二：有色金屬
銅合金、鋁合金、鉛合金、鋅合金、鎂合金、貴金屬
三：建筑材料
水泥、水泥原料、熟料、石灰石、粘土、玻璃、磚
四：電子/磁性材料
半導體、光磁盤、磁鐵、電池、線路板、電容
五：化學工業
無機/有機產品、化學纖維、催化劑、涂料、顏料、藥品、 化妝品、洗滌劑 石油/煤炭、石油、重油、潤滑油、樹脂、煤炭、焦炭
六：農業、食品原料
土壤、肥料、植物、食品
