X射線熒光光譜儀采用的技術實際上是一個表面分析方法，激發只發生在試樣的淺表面，必須注意分析面相對于整個樣品是否有代表性。此外，樣品的平均粒度和粒度分布是否有變化，樣品中是否存在不均勻的多孔狀態等。樣品制備過程由于經過多步驟操作，還必須防止樣品的損失和沾污。
X射線熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的最大尺寸要求為直徑51mm，高40mm。
X射線熒光光譜儀分為波長色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。
X射線熒光光譜采用晶體或人工擬晶體根據Bragg定律將不同能量的譜線分開，然后進行測量。波長色散X射線熒光光譜一般采用X射線管作激發源，可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時式(或稱多道式)譜儀、和順序式與同時式相結合的譜儀三種類型。順序式通過掃描方法逐個測量元素，因此測量速度通常比同時式慢，適用于科研及多用途的工作。同時式則適用于相對固定組成，對測量速度要求高和批量試樣分析, 順序式與同時式相結合的譜儀結合了兩者的優點。
X射線熒光光譜儀不僅適配尋找礦場和對礦場進行檢測，還能夠用于環境的監測和修復。作為典型的環境監測和修復過程中的一個環節，該儀器可以對仍在使用或已經關閉的工業地產附近的土壤、沉積物、灰塵、尾礦中的元素進行快速識別，檢測是否有危害環境和人類身體健康的危險元素。X射線熒光光譜儀作為一種快速可靠的分揀工具，可以提供易于歸檔的環境監測的量化記錄。
