X射線熒光光譜儀是一種基于XRF光譜分析技術的光譜分析儀器，主要由X光管、探測器、CPU以及存儲器組成，由于其便攜具有高效、便攜、準確等特點，使其在合金、礦石、環境、消費品等領域有著重要的應用。
儀器要求具有高的分辨率和信噪比、更好的強度準確性和波長準確性以及強的抗外界干擾性和優良的儀器穩定性，在儀器的軟件上，要求能夠進行導數、去卷積等復雜的數學計算，能夠計算光譜間相似度、模式識別分析、支持多元校正分析和用戶自建譜庫并進行檢索。
X射線熒光光譜儀應用領域非常廣泛，涉及:電力、石化、考古、金屬加工、壓力容器、廢舊物資回收、航空航天、地質勘探、礦山測繪、開采、礦石分選、礦產貿易、金屬冶煉、環境監測、土壤監測、玩具、服裝、鞋帽、電子產品等眾多領域。
X射線熒光光譜儀物理原理和結構組成：
當材料暴露在短波長X光檢查，或伽馬射線，其組成原子可能發生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅逐內層軌道的電子，然而這使原子的電子結構不穩定，在外軌道的電子會“回補”進入低軌道，以填補下來的洞。在“回補”的過程會釋出多余的能源，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。因此，物質放射出的輻射，這是原子的能量特性。
1、X射線熒光光譜分析儀由激發系統、分光系統以及儀器控制和數據處理系統組成，具有的高靈敏度與寬動態范圍的特性使其成為了同等級中性能高的微型光譜儀。其超高的性能可以大大提高吸光度、反射率、熒光與拉曼檢測的度。
2、激發系統，主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；
3、分光系統，對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統，對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；
4、儀器控制和數據處理系統，處理探測器信號，給出分析結果。
