X射線熒光光譜儀已廣泛應用于材料、冶金、地質、生物醫學、環境監測、天體物理、文物考古、刑事偵察、工業生產等諸多領域，是一種快速、無損、多元素同時測定的分析技術。采用固定通道，減少測量時間；固定通道尤其適用于熒光產額較低的輕元素和微量元素的測定，以提高分析精度和靈敏度。X熒光光譜儀采用操作方便，用戶習慣的智能化軟件，提供全自動分析操作，實現快速定性、定量分析和半定量分析。
X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導體探測器，如Si（Li）和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數器或閃爍計數器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導體探測器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發X射線熒光光譜、質子激發X射線熒光光譜、放射性同位素激發X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。
X射線熒光光譜儀優點：
1、分析時間短。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
2、適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在X射線范圍內，這種效應更好。波長變化用于化學位的測定 。
3、非破壞分析，重現性好。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
5、分析精密度高。
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
