X射線熒光光譜儀產生于50年代，由于可以對復雜體系進行多組分同時測定，受到觀注，特別在地質部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。
X射線熒光光譜儀就是由x射線光管發生的一次x射線激發樣品，試樣可以被激發出各種波長的特征x射線熒光，需要把混合的x射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的x射線的強度，以進行定性和定量分析的方法。
X射線熒光光譜儀
X射線熒光光譜儀的使用安全規則：
1、安裝和維護須由受培過訓的人來實施。
2、安全設施不能由未受培訓的人員來處理。
3、用戶須做到：按當地的安全規則來處理和操作系統。
4、所有的X-ray分析系統須定期用合適的儀器檢查。
5、一旦設備處于不安全狀態，須切斷電源，并在設備上張貼“不得使用”字樣。
6、操作人員須佩帶個人劑量牌。
7、所有操作人員知道安全的必要性。
8、校正、調整、維修和更換X射線管須由受過培訓的人員來實施。
X射線熒光光譜儀是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。
