熒光光譜儀又稱熒光分光光度計，是一種定性、定量分析的儀器。通過熒光光譜儀的檢測，可以獲得物質的激發光譜、發射光譜、量子產率、熒光強度、熒光壽命、斯托克斯位移、熒光偏振與去偏振特性，以及熒光的淬滅方面的信息。
熒光光譜儀由激發光源、單色器、狹縫、樣品室、信號檢測放大系統和信號讀出、記錄系統組成。激發光源提供用于激發樣品的入射光的來源。單色器用來分離出所需要的單色光。信號檢測放大系統用來把熒光信號轉化為電信號，結合放大系統上的讀出裝置可顯示或記錄熒光信號。熒光光譜儀是光譜儀的一類分支，其采用熒光分析法原理進行檢測，采用此原理，處于基態的被測物質的分子在吸收適當能量，如光、化學、物理能后，其共價電子從成鍵分子軌道或非鍵分子軌道躍遷到反鍵分子軌道上去，形成分子激發態。分子激發態不穩定，將很快衰變到基態。在分子激發態返回到基態的同時常伴隨著光子的輻射。這種現象就是發光現象。熒光則屬于分子的光致發光現象。
主要用途
儀器是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)～U(92)之間元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的*大尺寸要求為直徑51mm,高40mm.
熒光光譜儀所用的激發光源為450W氙燈，這是一種短弧氣體放電燈。該燈外套為石英，里面充氙氣，室溫時其壓力為5atm，工作時壓力約為20atm,氙燈的激發光譜在250～800nm呈連續光譜，在450nm附近有幾條銳線。
工作時，燈內相距約8mm的鎢絲間會形成強的電子流(電弧)，氙原子與其碰撞后會離解為氙正離子，氙正離子與電子結合就會發光。氙原子的離解發射連續光譜，而激發態的氙會發射位于450nm附近的線狀光譜。工作的時候，氙燈發射出很強的燈光，其射線會損傷眼睛視網膜，紫外線會損傷肉眼角膜，因此操作者應避免直視光源。 
