X射線熒光光譜儀目前已在地質、冶金、材料、環境等無機分析領域得到了廣泛的應用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術手段之一，各種與X射線熒光光譜相關的分析技術，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術等，在痕量和超痕量分析中發揮著重要的作用。
目前X射線熒光光譜儀定量方法一般采用基本參數法。該辦法是在考慮各元素之間的吸收和增強效應的基礎上，用標樣或純物質計算出元素熒光X射線理論強度，并測其熒光X射線的強度。將實測強度與理論強度比較，求出該元素的靈敏度系數，測未知樣品時，先測定試樣的熒光X射線強度，根據實測強度和靈敏度系數設定初始濃度值，再由該濃度值計算理論強度。
X射線熒光光譜儀五大特點：
1、設計理念先進：采用能量色散光譜分析方法，選用50W功率的X射線光管直接激發樣品產生X射線熒光，德國進口高精度SDD探測器和多道分析器接收X熒光信號，獲得樣品中各元素的計數強度并繪出光譜圖，根據各元素特征能量及其強度進行定性和定量分析。并采用樣品旋轉技術增加樣品測試面積，提高結果重復性和準確度。*擺脫了以往化學方法進行元素分析的繁瑣操作過程。
2、應用范圍廣泛：可分析粉末、顆粒、溶液、溶膠、固體等多種類型的樣品中元素含量，如測定煤中磷，煤灰成分分析（氧化鈉、氧化鎂、三氧化二鋁、二氧化硅、五氧化二磷、三氧化硫、氧化鉀、氧化鈣、三氧化二鐵等）。
3、分析元素范圍寬：可分析元素范圍從鈉（Na）～鈾（U），元素含量從ppm～100%。
4、安全性高：符合相關規定要求，產品質量好，安全性能高，并獲得國家環境生態部的豁免許可。
5、使用成本低：X射線熒光光譜儀采用真空測量模式不需消耗任何氣體和化學試劑，用戶后期使用成本極低。
X射線熒光光譜儀在定性分析時，可以靠計算機自動識別譜線，給出定性結果。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。首先識別出X射線管靶材的特征X射線和強峰的伴隨線，然后根據2θ角標注剩斜譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源，性質等因素，以便綜合判斷。
