X射線熒光光譜儀又叫X射線光譜儀或者熒光光譜儀，儀器在各行業應用范圍不斷拓展，廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，目前我們常用到的型號有兩種，波長色散型和能量色散型，前者簡稱WD，后者簡稱ED。波長色散型能量分辨本領高，而能量色散型可同時測量多條譜線，目前，能量色散型X射線熒光光譜儀主要用于元素篩選分析。
波長色散型X射線熒光光譜儀是由色散元件將不同能量的特征X射線衍射到不同的角度上，探測器需移動到相應的位置上來探測某一能量的射線。而能量色散型，去掉了色散系統，是由探測器本身的能量分辨本領來分辨探測到的X射線的。
能量色散型X射線熒光光譜儀一般由X射線管、濾光片、探測器、多道分析器和計算機數據處理系統等組成。波長色散型X射線熒光光譜儀一般需要利用分光晶體將不同波長的X射線熒光分開并檢測，得到X射線熒光光譜。而能量色散譜儀是利用X射線熒光具有不同能量的特點，將其分開并檢測，不必使用分光晶體，而是依靠半導體探測器來完成。但能量色散譜儀也需要配置濾光片，其主要作用是改善激發源的譜線能譜成分，或抑制高含量組分的強X射線來進行能量選擇，提高測量精度。按其用途不同，主要有初級濾光片和次級濾光片兩種。
X射線熒光光譜儀主要性能優勢：
1.集合了多年ROHS檢測經驗，對六種有害元素尤其是Br、Cl等鹵素進行了優化；
2.模塊化的功能設計理念便于應對指令進行、檢測元素內容的升級；
3.更為精巧的工藝，實現小體積樣品的檢測；
4.更智能、方便的測試分析軟件，操作人性化、功能強大化；
5.全光路射線防護系統配合三重安全防護設計，同時采用軟硬件雙重安全連鎖，確保輻射安全性能。
