波長型X射線熒光光譜儀具有真空測量室和超薄探測器輸入窗口,測量分析精度高,可測元素范圍高達9F~17Cl。
波長型X射線熒光光譜儀采用高性能硅漂移探測器SDD,能量分辨率低到135eV，可定義測量幾乎所有元素譜線，可分析多種元素多成分物質，比如高合金鋼，精密合金，多金屬礦石等。
波長型X射線熒光光譜儀簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡便，分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級，輕元素稍差，分析樣品不被破壞，分析快速，準確，便于自動化。
波長型X射線熒光光譜儀的性能好壞如何判斷呢？可從以下四個方面去考慮。
1、波長范圍。波長范圍是X熒光光譜儀所能測量的波長區間。使用新型探測器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見和近紅外波段。光柵的類型以及探測器的類型會影響波長范圍。
2、波長分辨率。波長分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長的能力，波長分辨率與波長的取樣間隔是兩個不一樣的概念。高的波長分辨率意味著窄額度波長范圍
3、噪聲等效功率和動態范圍。當信號的值與噪聲的值相當的時候，從噪聲中分辨信號就會困難。一般用與噪聲相當的信號的值來表征能一個光譜儀所能夠測量的弱的光強。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測量弱的信號。
4、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號變成電子學信號的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對結果影響。狹縫的寬度、光柵的類型、探測器的類型以及電路的參數都會影響敏度。人為地調高前置放大電數也會提高名義上的敏度，但并不實際的測量。
