X射線熒光光譜儀可以測量元素周期表中鈹以后的每一種元素，在實際應用中，有效的元素測量范圍為9號元素到92號元素，濃度范圍從100%至亞ppm級。儀器具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。
X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發系統，主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；分光系統，對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統，對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；儀器控制和數據處理系統，處理探測器信號，給出分析結果。
在測定微量成分時，由于X射線管的連續X射線所產生的散射線會產生較大的背景，致使目標峰的觀測比較困難。為了降低或消除背景和特征譜線等的散射X射線對高靈敏度分析的影響，此儀器配置了4種可自動切換的濾光片，有效地降低了背景和散射X射線的干擾，調整出醉具感度的輻射，進一步提高了S/N的比值，從而可以進行更高靈敏度的微量分析。當某些元素的電子由高等級向低等級越遷時釋放的能量相近，會使此時譜圖的波峰重疊在一起，由此產生了重疊峰。其軟件自動剝離重疊峰，確保了元素分析的正確性。
X射線熒光光譜儀的測試步驟：
?。?）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數法、半基本參數法、經驗系數法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數法測試。
?。?）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發出原級X射線照射樣品，激發出待測元素的熒光X射線。
?。?）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。
