手持式X射線熒光光譜儀是一種使用方便，攜帶方便，保養維護方便的測量儀器，手持式X射線熒光光譜儀能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的大尺寸要求為直徑51mm,高40mm.
手持式X射線熒光光譜儀一般有三點分析模式：
1、點分析
將電子探針固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法用于顯微結構的成份分析，例如對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學計量材料的組成等分析。
2、線分析
電子束沿一條分析線進行掃描(或試樣掃描)時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區域內的分布。沿感興趣的線逐點測量成分，也可以劃出該線的成分變化曲線。
3、面分析
將電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮，說明元素含量越高。研究材料中雜質、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
手持式X射線熒光光譜儀的使用注意事項：
1、儀器會產生電離輻射，在測試時確保不要將儀器對著人；不要將儀器對著空氣做測試；不要用手拿著樣品做測試；
2、在運作狀態時，勿打開儀器的防護蓋或勿將測試儀器對準人體；
3、每次開啟儀器和每連續工作4小時，須對儀器進行校驗；
4、嚴禁非專門的人員操作該儀器，操作時必須按照操作步驟進行，任何錯誤的操作，均會導致儀器的測試結果及使用壽命。
