熒光光譜儀又稱熒光分光光度計，是一種定性、定量分析的儀器。通過熒光光譜的測試可以獲得物質的激發光譜、發射光譜、熒光壽命以及液體樣品濃度等方面的信息。光譜儀的組成在硬件上相似的，其差別主要在于硬件材質、儀器精密程度以及部分次要功能上的不同。此外，不同熒光光譜儀所使用的軟件在界面和功能上存在較大的差別。熒光光譜儀的重要的部件包括光源、激發單色器、發射單色器、光電倍增光（PMT）以及外聯設備電腦等。
日本理學X射線熒光光譜儀特點
1、儀器結構簡單，省略了晶體的精密運動裝置。還避免了晶體衍射所造成的強度損失。光源使用的X射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發生器和冷卻系統，空氣冷卻即可，節省電力。
2、能量色散形熒光光儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X射線的利用率很高，不需光學聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
3、在能量色散譜儀中，樣品發出的全部特征X射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導體檢測器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。
4、能量色散法的一個附帶優點是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學狀態引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數的統計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減小了偶然錯誤判斷某元素的可能性。 
