等離子體發射光譜儀用于測定各種物質（可溶解于**、氫氟酸等）中的常量、微量、痕量元素的含量。儀器具有高效、抗干擾型強、自動化程度高、操作簡便、穩定可靠、測試范圍廣、分析速度快、檢出限低等特點。廣泛應用于稀土、地質、冶金、化工、環保、臨床醫藥、石油制品、半導體、食品、生物樣品、刑事科學、農業研究等各個領域。
電感耦合等離子體原子發射光譜儀高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。原理介紹編輯高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。
石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體*電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。
利用激發光源產生的能量作用于樣品，當某一能量施加到一個原子上，一些電子就改變其軌道，當這些電子返回到原來的軌道時，以一定波長的光形式恢復到原來的狀態.因而，一個含有幾種不同元素的樣品將產生有每種元素特定的波長組成的光，通過用一色散系統將這些波長分開，我們就能測定存在哪一種元素和這些波長中每一種波長的強度，這些強度和相應的元素的濃度成一定的函數關系。同時利用電子接收系統測量這種發光強度，再用計算機處理這些信息，這樣就可以測出相關元素的濃度。 
