X射線熒光光譜儀目前已在地質、冶金、材料、環境等無機分析領域得到了廣泛的應用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術手段之一，各種與X射線熒光光譜相關的分析技術，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術等，在痕量和超痕量分析中發揮著重要的作用。
X射線熒光光譜儀工作原理是X射線光管發出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內層電子被激發，當外層電子躍遷時產生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。
X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
根據X射線熒光的產生原理，X射線熒光光譜儀在結構上主要由激發源、色散系統、探測系統等3部分組成。按照色散方式的不同，X射線熒光光譜儀可以分為2類：波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）。下面來看看儀器結構以及各結構作用。
X射線熒光光譜儀結構和作用：
1、X射線光管發射的原級X射線入射至樣品，激發樣品中各元素的特征譜線
2、分光晶體將不同波長λ的X射線分開
3、探測器記錄經分光的特定波長的X射線光子N
4、根據特定波長X射線光子N的強度，計算出與該波長對應的元素的濃度
