X射線熒光光譜法是元素分析的主要手段之一，在元素分析中具有制樣簡單、無損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時分析等優點。
X射線熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長色散型的X射線熒光光譜儀。但這種傳統的儀器有時候靈敏度不夠高，無法滿足微量或痕量應用領域的檢測需求，因此這制約了它的發展。
近年來，X射線熒光光譜技術飛躍發展，在多項核心技術取得突破，一種高靈敏度的X射線熒光光譜儀應運而生，它也可以稱為單波長激發-能量色散X射線熒光光譜儀，采用微焦斑X射線管，依靠全聚焦型雙曲面彎晶將X射線管出射譜中靶材高強特征射線單色化取出并聚焦到被測樣品點，由于單色化入射，避免了由于X射線管出射譜中連續軔致輻射造成的背景干擾，從而大幅提升被測元素熒光射線的信噪比，同時采用高分辨率硅漂移探測器窗口接近樣品測試點，取得樣品中元素熒光射線的極大立體角，進一步提升元素熒光入射到探測器的射線強度。
高靈敏度X射線熒光光譜儀原理：
X射線光管出射譜由靶材的特征X射線分立譜以及軔致輻射連續譜組成，這些射線入射到樣品中，激發樣品中元素特征X射線的同時，又會產生入射譜的康普頓散射和瑞利散射，探測器同樣會接收到這些散射背景，從而造成了連續背景信號的干擾，降低了元素檢測的峰背比，使樣品中微量或痕量元素難以被檢出。
X射線管出射譜由連續譜線和特征譜線組成，全聚焦型雙曲面彎晶僅衍射X射線光管出射譜中的高強度特征X射線，從而入射到樣品的X射線具有很好的單色性，因此從樣品出射的X射線除了樣品中的元素被激發產生的熒光X射線（線光譜）和單色入射線的瑞利散射和康普頓散射以外，不存在連續散射背景，從而保證待測元素特征線具有極低的背景干擾，被激發元素的熒光X射線用SDD（硅漂移探測器）檢測，得到高分辨和高靈敏度的測試結果。
高靈敏度X射線熒光光譜儀具備傳統光譜儀無損、快速、多元素同時分析等特點，同時又具備高靈敏度的特點，其將X射線熒光的應用領域不斷延伸，除了傳統X射線應用領域外，新的領域成為高靈敏度X射線熒光光譜儀的市場，具有廣闊的市場前景。
